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3
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3
논문
4
특허
1
보고서
연도
과제
연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2024
0
0
0
1
0
0
2023
0
0
0
2
2
1
2022
1
1.1B
900M
0
1
0
2021
1
1.1B
898M
0
1
0
2020
1
534.8M
450M
0
0
0
연구분야
전기/전자 > 반도체장비
키워드
열교환기
금속적층제조
3D프린팅
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