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5
총 과제
0
논문
2
특허
3
보고서
연도
과제
연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2019
1
1.5억원
1,061.6만원
0
0
1
2018
1
5.3억원
3.4억원
0
0
0
2017
1
3.8억원
2.5억원
0
0
0
2016
0
0원
0원
0
1
1
2015
1
1.6억원
1.4억원
0
1
1
2014
1
1.4억원
1.2억원
0
0
0
연구분야
전기/전자 > 반도체장비
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반도체
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