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6
총 과제
0
논문
2
특허
1
보고서
연도
과제
연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2026
1
3.8억원
2.9억원
0
0
0
2025
2
10.1억원
6.9억원
0
0
0
2024
2
8.7억원
6억원
0
0
0
2011
0
0원
0원
0
2
1
2010
1
3.5억원
3.3억원
0
0
0
연구분야
전기/전자 > 반도체장비
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