세메스
비상장계속사업자SYSTEM ENGINEERING MEGA SOLUTION
심상필
국가 R&D 수행 현황
세메스(주)
12총 과제
20논문
25특허
2보고서
| 연도 | 과제 | 연구비 | 정부투자 | 논문 | 특허 | 보고서 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2026 | 1 | 23.4억원 | 13.7억원 | 0 | 0 | 0 |
| 2025 | 2 | 17.4억원 | 11.9억원 | 9 | 0 | 0 |
| 2024 | 2 | 17.3억원 | 8.8억원 | 0 | 0 | 0 |
| 2023 | 1 | 23.7억원 | 12억원 | 5 | 3 | 0 |
| 2022 | 1 | 29.6억원 | 15억원 | 1 | 2 | 0 |
| 2021 | 1 | 21.6억원 | 11.6억원 | 1 | 3 | 0 |
| 2020 | 1 | 16.7억원 | 8.9억원 | 0 | 0 | 0 |
| 2012 | 0 | 0원 | 0원 | 0 | 2 | 0 |
| 2011 | 1 | 3.6억원 | 3억원 | 0 | 7 | 2 |
| 2010 | 2 | 17.2억원 | 13.2억원 | 4 | 8 | 0 |
연구분야
기계 > 측정표준/시험평가기술전기/전자 > 디스플레이
키워드
반도체습식 식각파티클고밀도 플라즈마