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14
총 과제
0
논문
2
특허
1
보고서
연도
과제
연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2026
1
5.2억원
3.3억원
0
0
0
2025
3
8억원
6억원
0
0
0
2024
3
5.1억원
3.9억원
0
0
1
2023
3
9.4억원
7.2억원
0
0
0
2022
2
3.5억원
2.8억원
0
0
0
2021
0
0원
0원
0
1
0
2020
0
0원
0원
0
1
0
2019
2
2.6억원
2억원
0
0
0
연구분야
기계 > 나노/마이크로기계시스템
전기/전자 > 반도체장비
전기/전자 > 반도체 소자·회로
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