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특허
1
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연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2024
2
6.1亿
4.4亿
0
0
0
2023
1
2.8亿
2.4亿
0
2
0
2022
1
2.4亿
1.9亿
0
2
0
2013
0
0
0
0
0
1
2012
1
3.5亿
1.8亿
0
0
0
2011
1
2.1亿
1.8亿
0
0
0
연구분야
전기/전자 > 반도체장비
기계 > 측정표준/시험평가기술
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