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1
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정부투자
논문
특허
보고서
2026
1
5.2亿
3.3亿
0
0
0
2025
3
8亿
6亿
0
0
0
2024
3
5.1亿
3.9亿
0
0
1
2023
3
9.4亿
7.2亿
0
0
0
2022
2
3.5亿
2.8亿
0
0
0
2021
0
0
0
0
1
0
2020
0
0
0
0
1
0
2019
2
2.6亿
2亿
0
0
0
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전기/전자 > 반도체장비
전기/전자 > 반도체 소자·회로
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