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0
논문
0
특허
1
보고서
연도
과제
연구비
정부투자
논문
특허
보고서
2025
1
1亿
8,085万
0
0
0
2024
1
1.4亿
1.1亿
0
0
0
2023
3
4.3亿
3.2亿
0
0
1
2022
1
3.1亿
2.4亿
0
0
0
2021
1
1.8亿
1.4亿
0
0
0
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전기/전자 > 반도체장비
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